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산업통상자원부는 20일 정승일 산업부 차관의 충남 천안 SKC 블랭크마스크 공장 방문을 계기로 이 같은 SKC의 하이엔드급 블랭크 마스크 양산 계획을 공개했다. SKC는 지난달 26일 시제품 생산 사실을 알리고 연내 상업화한다는 목표를 발표했으나 이를 확정적으로 발표한 건 이날이 처음이다.
정부와 국내 소재·부품·장비업계는 일본 정부가 지난해 7월 불화수소를 비롯해 반도체 제조에 필요한 핵심 소재 3종에 대한 대 한국 수출 규제를 강화한 걸 계기로 일본 의존도가 큰 소재·부품·장비 자체 개발에 나섰다.
블랭크 마스크도 반도체 웨이퍼에 전자회로 패턴을 새길 때 쓰는 반도체 제조 핵심 소재다. 특히 불화아르곤(ArF) 같은 하이엔드급 제품은 90% 이상 일본 업체에 의존하고 있다.
정승일 차관은 이날 시제품 생산 현장을 찾아 이용선 부사장을 비롯한 SKC 임직원의 성과에 감사를 전하고 정부의 소재·부품·장비 자립화 정책 방향을 소개했다.
정부는 불화수소와 EUV레지스트, 불화폴리이미드 등 일본 수출규제 3개 품목에 대해선 연내 완전한 공급 안정화를 달성하고 이를 포함한 20개 주요 품목에 대해서도 내년까지는 국내생산 확대와 기술개발, 수입국 다변화를 통해 공급 안정성을 확보한다는 계획이다. 산업부는 100개 소재·부품·장비의 상용화를 위해 올해만 2100억원 이상을 지원할 계획이다.
정 차관은 “소재·부품·장비 기술력 강화와 건강한 산업생태계 구축을 위해선 정부와 수요-공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”며 “정부는 조기 성과 창출을 위해 관련 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.
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